1. 반도체 공정 개요 1.1. 반도체 기술의 발전 반도체 기술의 발전은 정보화 사회의 근간이 되는 핵심 기술로, 지속적인 혁신과 발전을 거듭해 왔다. 반도체 제품의 고집적화와 다기능화가 이루어지면서 기존 반도체 소자의 한계를 극복하고자 새로운 소자 구조와 제조 공정이 속속 등장하고 있다. 반도체 기술은 1960년대 이후 규모의 경제 실현과 생산성 향상을 위해 집적도를 지속적으로 높여왔다. 집적도 향상은 반도체 소자의 크기를 줄이는 미세화와 더불어 트랜지스터의 수를 늘리는 다기능화로 이루어져 왔다. 미세화를 통해 단위 면적당 ...