1. ALD를 통한 TiO2 박막 형성 실험에서는 ALD 공정을 통해 p-type Si 기판과 p++-type Si 기판에 TiO2 박막을 형성하였다. 기판의 도핑 농도에 따라 증착된 박막의 두께가 달랐는데, 도핑이 적은 p-Si 기판에 비해 도핑이 많은 p++-Si 기판에서 상대적으로 박막이 얇게 형성되었다. 이는 도핑이 TiO2의 확산을 방해하거나 충돌을 유발하기 때문인 것으로 분석된다. 2. TiO2 박막 두께 측정 TiO2 박막의 두께는 Ellipsometry와 XRF 장비를 사용하여 측정하였다. 두 장비의 측정 원리가 다르...

1. NaX zeolite 합성 및 특성 분석 실험을 통해 sodium silicate와 sodium aluminate 용액을 혼합하여 NaX zeolite를 합성하였다. 합성된 NaX zeolite의 특성을 XRD와 IR 분석을 통해 확인하였다. XRD 분석 결과 이론적인 NaX zeolite의 XRD 그래프와 유사한 피크가 나타나 합성이 잘 되었음을 확인하였다. IR 분석 결과에서도 이론적인 NaX zeolite의 IR 그래프와 유사한 피크가 관찰되어 합성이 제대로 진행되었음을 확인할 수 있었다. 2. NaX zeolite의 이...