1. SEM의 동작원리 SEM은 가느다란 전자 빔을 시료 표면에 주사하여 시료표면에서 발생하는 2차 전자를 이용하여 입체적인 표면상을 관찰하는 현미경입니다. SEM은 광학현미경(OM)과 달리 전자빔(파장: 0.6 nm)을 사용하여 더 높은 분해능(3~20 nm)과 배율(10~30만배)을 가지고 있습니다. 2. SEM 조작방법 SEM 조작 방법은 다음과 같습니다. 1) 시료 준비: 전도성 물질은 바로 측정 가능하지만 비전도성 물질은 코팅 과정이 필요합니다. 2) 진공 유지: SEM 내부에 진공을 유지하여 필라멘트 연소, 가스 분자와의...