1. 주사전자현미경(SEM) 주사전자현미경(SEM)은 진공에 놓인 시료의 표면을 1~100 nm의 전자선으로 관측하는 현미경입니다. 분석 특징으로는 표면 형상 및 구조 관찰, SE와 BSE 영상, EDS 원소 분석 등이 있으며, 공간분해능은 약 1 nm, EDS 원소 분석의 검출 범위는 C(Be)-U입니다. SEM의 원리는 집속된 전자빔을 시료표면에 주사하면서 전자빔과 시료와의 상호작용에 의해 발생되는 이차전자 또는 후방산란전자를 이용하여 시료의 표면을 관찰하는 것입니다. SEM의 주요 구성요소로는 전자총, 자기렌즈, 검출기 등이 ...