1. 표면분석 기술 1.1. 표면분석 방법의 개요 표면분석이란 대략 수십 Å 깊이까지의 표면과 계면 구성 원소 및 화학적 결합 상태, 에너지 준위 등을 분석하는 기술이다. 금속, 유기물, 고분자 물질의 표면을 분석하는 다양한 방법이 개발되어 있는데, 일반적으로 X-선 광전자 분광법(XPS), 오제 전자 분광법(AES), 이차 이온 질량 분광법(SIMS), 주사 전자 현미경(SEM), 전자 탐침 미세 분석기(EPMA), 투과 전자 현미경(TEM), 러더포드 후방산란 분광법(RBS) 등이 널리 사용된다. 이들 방법들은 입사하는 빔...