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핵심이보이는 전자회로 실험 21장2024.11.111. 반도체 소자와 MOS Capacitor 1.1. 반도체 소자의 발전과 MOSFET 반도체 소자는 전자 공학과 정보 기술의 핵심적인 부품으로, 그 발전은 현대 전자 기기의 혁신을 가능하게 하였다. 특히 MOS(Metal-Oxide-Semiconductor) 구조를 기반으로 한 MOSFET(Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor)은 집적회로(Integrated Circuit, IC)의 핵심 소자로 자리 잡았다. 초기의 반도체 소자는 진공관을 대체하기 위해 개발되었다. 1947년...2024.11.11
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반도체공정실습2024.11.071. 반도체 공정 실습 1.1. 웨이퍼 준비 1.1.1. 웨이퍼의 종류 웨이퍼는 p형과 n형이 있으며 결정 방향에 따라 (0 0 1)부터 (1 1 1)로 나뉜다. 채널의 종류, 도핑 타입, 도핑 농도에 따라 저항 특성이 달라지며 결정 방향에 따라 면밀도 차이로 인해 특성이 변화한다. 예를 들어 (1 1 1) 방향의 웨이퍼는 (0 0 1) 방향에 비해 면밀도가 더 높아 전자의 이동도가 좋다. 이처럼 웨이퍼의 결정 방향은 소자의 성능에 중요한 영향을 미치므로, 공정 시 이를 고려해야 한다. 1.1.2. 웨이퍼 클리닝 공정 웨이퍼 클...2024.11.07