1. 스핀 코팅(Spin Coating)
1.1. 스핀 코팅의 원리
스핀 코팅(Spin Coating)의 원리는 다음과 같다.
스핀 코팅은 평평한 기판에 균일한 박막을 증착하는 데 사용되는 방법이다. 스핀 코팅의 절차는 다음과 같다. 먼저 저속으로 회전하거나 전혀 회전하지 않는 기판의 중앙에 소량의 코팅 물질을 도포한다. 그 다음 기판을 최대 10000rpm의 속도로 회전시켜 원심력에 의해 코팅 물질을 퍼뜨린다. 이때 적용된 용매는 휘발성이며 동시에 증발한다. 회전 각속도가 높을수록 필름이 더 얇아지며, 필름의 두께는 용액의 ...
2024.11.06