1. AMOLED 소자 및 공정실험 AMOLED 소자 및 공정실험 캡스톤 디자인 실험에 대한 내용입니다. 실험 제목은 'Tooling Process & 막 두께 측정'이며, 실험 목표는 진공의 이해 & Chamber의 사용법, Z factor & Density의 기본 원리 이해 및 Tooling값 계산, Alpha Step을 이용한 막 두께 측정입니다. 실험 이론으로는 Vacuum & Chamber, Z factor, Thermal Evaporation 공정에 대해 설명하고 있습니다. 실험 방법은 기판 cleaning, Ante C...

1. 진공 (Vacuum) 진공은 밀폐된 공간에서 주변의 압력보다 낮은 압력으로 유지되는 상태를 말한다. 진공 조건의 장점으로는 깨끗한 환경 조성, 낮은 분자 밀도, 분자 간 충돌 거리 확장, 반응 속도 가속화, 힘 가하기 등이 있다. 이번 실험에서 사용한 진공 챔버의 진공 범위는 10^-6 ~ 10^-7 Torr 정도이다. 2. Compressibility factor Compressibility factor는 실제 기체의 상태 방정식을 나타내는 계수로, 압력, 기체 밀도, 기체 상수, 몰질량, 절대온도 등의 관계를 나타낸다. 이...