1. Fabrication of CNT emitters as the an electron beam source 실험 목적은 CNT의 제작 과정을 이해하고, Photolithography 실습을 통해 해당 공정을 이해하는 것입니다. 실험에서는 UV Source, Spin coater, Developer, Photo resist, D.I water, 광학 현미경 등의 장비와 시약을 사용했습니다. 실험 결과, Mask와 실제 패턴을 관측 및 비교 분석했으며, Positive PR과 Negative PR의 차이, 패턴 형성에 영향을 미치는...