원자분광법을 이용한 반도체 분석
2025.01.13
1. 원자 흡수 분광법(Atomic Absorption Spectrometry, AAS)
원자 흡수 분광법(AAS)은 용액의 화합물을 분석하는데 주로 사용되며, 분석을 위해서는 입자가 원자화되어야 한다. 원자화는 액체 시료를 자유 원자로 전환하는 과정이다. 원자 흡수 분광계를 사용하여 광원으로부터 생성된 전자기 방사선의 고유한 파장을 통해 액체 또는 고체 샘플의 원소를 감지한다. 각기 다른 원소는 파장을 다르게 흡수하며 흡광도는 표준에 의하여 측정한다. AAS에는 불꽃 AAS(FAAS)와 흑연로 AAS(GFAAS)가 있다.
2. 원...
2025.01.13