1. Bragg's law 브래그의 법칙은 빛의 회절 및 반사와 관련된 법칙으로, 결정 고체 내부를 이루는 원자들에 X-ray의 회절을 통해 반사된 X선이 특정 패턴을 생성한다는 것을 발견하여 제안되어진 법칙입니다. 결정은 규칙적인 배열의 구조를 가지고 있어, 다양한 각도로 일정한 파장의 빛을 비추면 어느 각도에서는 반사가 강한 빛으로 일어나지만 다른 각도에서는 반사가 일어나지 않습니다. 이는 결정을 구성하는 원자에 의해 산란된 빛이 결정의 구조 반복에 의해 강해지거나 약해지기 때문입니다. 브래그의 법칙은 빛의 파장, 결정 구조의 ...

1. MEMS 공정 MEMS 공정에는 패턴 정의, 첨가 공정(성층, 증착), 제거 공정(식각) 등이 있다. Bulk micromachining은 실리콘 기판 자체를 가공하여 원하는 구조체를 만드는 것이고, Surface micromachining은 실리콘 기판을 손상시키지 않고 표면의 얇은 막으로 구조체를 만드는 것이다. 이러한 MEMS 공정을 통해 작은 스케일의 특징을 파악할 수 있다. 2. Soft baking과 Hard baking Soft baking은 감광액 내 용매를 약 5% 제거하여 감광액의 밀도를 높이고 웨이퍼와의 접...