1. 반도체 소자 특성 분석 1.1. 표면 morphology 분석 표면 morphology 분석은 반도체 소자의 특성을 파악하는데 중요한 역할을 한다. 주사전자현미경(SEM)을 이용하여 반도체 소자의 표면 형상을 관찰하고 분석할 수 있다. 본 실험에서는 SEM 이미지 분석을 통해 시료의 표면 형상과 그레인 크기를 확인하였다. SEM 이미지 분석 결과, 시료의 표면에는 많은 알갱이(grain)들이 형성되어 있었다. 화면상에서 100nm에 해당하는 길이가 2.8cm로 측정되었으므로, 이를 통해 각 알갱이의 크기를 계산할 수 있었다...