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박막 전기전도도 측정2024.11.031. 유/무기 박막 전기전도도 측정 1.1. 실험 목적 및 원리 1.1.1. 전기 전도도, 고유 저항, 저항, 면저항의 개념과 차이 전기 전도도(electrical conductivity, σ)는 물질이 전하를 운반할 수 있는 정도를 나타내는 물리량이다. 고유 저항(resistivity, ρ)은 물질이 전류 흐름에 얼마나 세게 맞서는지 측정한 물리량이다. 저항(resistance, R)은 전기의 흐름을 방해하는 정도를 나타낸 물리량이다. 면 저항(sheet resistance, Rs)은 막의 단위 두께당 비저항을 표시한 단위이다...2024.11.03
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반도체공정실습2024.11.071. 반도체 공정 실습 1.1. 웨이퍼 준비 1.1.1. 웨이퍼의 종류 웨이퍼는 p형과 n형이 있으며 결정 방향에 따라 (0 0 1)부터 (1 1 1)로 나뉜다. 채널의 종류, 도핑 타입, 도핑 농도에 따라 저항 특성이 달라지며 결정 방향에 따라 면밀도 차이로 인해 특성이 변화한다. 예를 들어 (1 1 1) 방향의 웨이퍼는 (0 0 1) 방향에 비해 면밀도가 더 높아 전자의 이동도가 좋다. 이처럼 웨이퍼의 결정 방향은 소자의 성능에 중요한 영향을 미치므로, 공정 시 이를 고려해야 한다. 1.1.2. 웨이퍼 클리닝 공정 웨이퍼 클...2024.11.07