1. 진공 펌프 1.1. 펌프의 작동 원리에 따른 분류 펌프의 작동 원리에 따른 분류는 크게 positive displacement 펌프와 entrapment 펌프로 나눌 수 있다. positive displacement 펌프는 기체를 진공 용기 외부로 제거하는 펌프로, rotary vane pump, turbo-molecular pump 등 대부분의 기계적인 펌프가 이에 속한다. 이 펌프들은 기체분자를 진공 용기 외부로 배출하여 압력을 낮춘다. entrapment 펌프는 배기시킨 기체가 여전히 진공 용기나 펌프 속에 남아 있...