4-point probe 박막측정 면저항 실험
2024.10.11
1. 4-Point Probe 박막측정 실험
1.1. 4-Point Probe에 대해
1.1.1. 4-Point Probe의 정의
4-Point Probe는 안쪽 두 점 사이의 전압과 바깥쪽 두 점 사이의 전류를 측정하여 박막(thin layer) 및 시트(sheet)의 저항치를 측정하는 계측기이다. 즉, 4개의 탐침을 일정한 간격으로 배열하여 외부 두 탐침에 전류를 흘려주고 내부 두 탐침에서 전압을 측정함으로써 박막의 면저항을 구할 수 있는 장치라고 할 수 있다.
1.1.2. 4-Point Probe의 간단한 적용
4-Poin...