1. MEMS/NEMS의 이해와 활용사례 1.1. MEMS/NEMS 용어 정의 MEMS/NEMS는 Micro Electro Mechanical System과 Nano Electro Mechanical System의 약자로, 각각 마이크로미터(10-6m) 규모와 나노미터(10-9m) 규모의 초소형 기계 시스템을 의미한다. MEMS는 사람 머리카락의 100분의 1 수준의 크기를 가지며, NEMS는 사람 머리카락의 100,000분의 1 수준의 크기를 가진다. 이들 용어는 각각 "작다"는 뜻의 그리스어 Mikros와 "난쟁이"라는 뜻...