1. 나노와이어 제조 기술 1.1. 열화학기상증착법 열화학기상증착법(Thermal-CVD)은 반응가스의 화학적 반응에 의해 기판에 증착되는 방법이다. 반응가스가 기판에 증착되어 나노와이어가 성장하는 과정은 다음과 같다. 먼저 반응로 내부에서 반응기체가 가열되어 기체상태가 되면, Ar gas에 실려 기판 위로 이동하게 된다. 기판 표면에서 기체상태의 원료물질들은 액체 상태로 변하게 되는데, 이때 기판 표면에 증착된 촉매금속(Au)이 원료물질의 상변화를 도와주는 역할을 한다. 마지막으로 액체 상태의 원료물질이 고체상태로 석출되면서 나...