1. Sol-Gel 반응 Sol-Gel 반응은 금속 알콕사이드 또는 비알콕사이드 원료를 이용하여 가수분해와 축합반응을 통해 졸을 제조한 후 반응을 계속 진행하여 겔로 고화하고, 겔을 가열/소결 과정을 거쳐 금속산화물 고체를 제조하는 방법이다. 이 공정은 상온, 대기 중에서 진행 가능하며 분자 나노단위 소재 처리로 박막의 투명성과 균질성을 확보할 수 있다. 졸겔법은 스퍼터링이나 화학기상증착법(CVD)에 비해 공정 제어가 쉽고 생산효율이 높은 특징을 가지고 있다. 2. TEOS (테트라 에톡시 실란) TEOS는 Tetra-ethyl-o...